主營產品:
光學儀器、光學材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設備、靜電輔料、工業器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設備、氣動工具、電動工具、化工設備、化工輔料、點膠設備、小型設備、儲存設備、物流設備、工業安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設備等。
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產品詳情
簡單介紹：
離子注入機
用于研發的中電流離子注入機
IMX-3500
詳情介紹：
離子注入機
用于研發的中電流離子注入機IMX-3500
中電流離子注入機IMX-3500是一款*大能量為200 kV、晶圓尺寸可達8英寸的離子注入機，是高校研發的理想選擇。
特征
- 它的*大晶圓尺寸為 8 英寸，并配備了與非晶基板兼容的壓板。
- 除了氣體源，B、P、As離子都可以作為離子源，也可以使用易于**處理的固體蒸發源。
- 高壓端子部分采用與量產設備相同的配置，確保高可靠性。
規格
| 活力 | 30-200keV（可選3-200keV兼容） |
| *大束流 |
11B + 400μA (200keV) 31P + 600μA (200keV) |
| *小束流 | 150nA |
| 離子種類 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 等 |
