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晶圓UV照射器(UV照射波長交換型)
使用
是對半導體制造用晶片加工(切片和背面研磨)工序中使用的紫外線固化型膜照射紫外線(UV)的裝置。(UV膜固化裝置)
●晶圓切割帶(UV膜固化裝置)的固化應用。
●輻射器可以在每個波長上交換。
●小批量生產應用的理想選擇。
采用氮置換(N 2**)機制減少了UV固化過程中的氧氣抑制。
特點
-
用氮置換(N 2 prepurge)機制。
-
6英寸,8英寸晶圓兼容。
-
生產12英寸晶圓。
-
可交換的輻照器(365,385,395,405nm等)。
-
可調亮度從0到100%。
MUVBA - 0.4×0.6×0.2
特點
●這是一個晶圓紫外線輻射器。
●為氧抑制通過N 2吹掃機構降低UV固化
●在一個音量旋鈕UV照射強度,可調節(0-100%)
●可以通過閥的流量計來控制N 2吹掃量。
●使用簡單的安裝結構,可輕松將紫外線輻射器更換為其他波長。
-
-
-
-
警報指示
LED燒盡報警
LED過熱報警
使用環境
溫度:0至40°C,濕度:20至85%RH(無冷凝),室內設備
存儲環境
溫度:0至60°C,濕度:20至85%RH(無冷凝)
額定電源電壓
100-240V
使用
是對半導體制造用晶片加工(切片和背面研磨)工序中使用的紫外線固化型膜照射紫外線(UV)的裝置。(UV膜固化裝置)
●晶圓切割帶(UV膜固化裝置)的固化應用。
●輻射器可以在每個波長上交換。
●小批量生產應用的理想選擇。
采用氮置換(N 2**)機制減少了UV固化過程中的氧氣抑制。
特點
- 用氮置換(N 2 prepurge)機制。
- 6英寸,8英寸晶圓兼容。
- 生產12英寸晶圓。
- 可交換的輻照器(365,385,395,405nm等)。
- 可調亮度從0到100%。
MUVBA - 0.4×0.6×0.2

特點
●這是一個晶圓紫外線輻射器。
●為氧抑制通過N 2吹掃機構降低UV固化
●在一個音量旋鈕UV照射強度,可調節(0-100%)
●可以通過閥的流量計來控制N 2吹掃量。
●使用簡單的安裝結構,可輕松將紫外線輻射器更換為其他波長。
警報指示 |
LED燒盡報警 LED過熱報警 |
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使用環境 | 溫度:0至40°C,濕度:20至85%RH(無冷凝),室內設備 |
存儲環境 | 溫度:0至60°C,濕度:20至85%RH(無冷凝) |
額定電源電壓 | 100-240V |