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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:日本ULVAC愛發(fā)科重慶內(nèi)藤優(yōu)勢出售

    • 產(chǎn)品型號:ULDEX-1600
    • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    批量式干法蝕刻設(shè)備 ULDEX-1600
    詳情介紹:

    ULDEX-1600是一種太陽能電池硅基板,它是一種提供引入蝕刻氣體并利用高頻功率形成表面凹凸結(jié)構(gòu)的工藝的器件。通過在硅基板的表面形成低反射的凹凸結(jié)構(gòu),可以提高太陽能電池的光吸收率,有助于提高電池轉(zhuǎn)換效率。
    ULDEX_data.jpg

    特征

    • 高產(chǎn)量:4000pcs./hr
    • 結(jié)構(gòu)簡單:腔內(nèi)無驅(qū)動
    • 維護(hù)簡單

    采用

    • 單晶硅襯底
    • 多晶硅襯底
    • 類單晶硅板

    規(guī)格

    ULDEX-1600
    晶圓尺寸 (mm) □ 156
    托盤安裝數(shù)量(□ 156mm) 100 件。
    房間組成 1) 工藝室 2 間客房
    2) 傳送機(jī) 選項
    吞吐量 4000(ULVAC 標(biāo)準(zhǔn)條件)
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