主營產品:
光學儀器、光學材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設備、靜電輔料、工業器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設備、氣動工具、電動工具、化工設備、化工輔料、點膠設備、小型設備、儲存設備、物流設備、工業安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設備等。
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產品詳情
簡單介紹：
蝕刻裝置
用于光學器件和 MEMS 的
干法蝕刻設備
NLD-5700
詳情介紹：
蝕刻裝置
用于光學器件和 MEMS 的
用于光學器件和 MEMS 的
干法蝕刻設備NLD-5700
用于光學器件和 MEMS 的干法刻蝕設備 NLD-5700 是配備磁中性線等離子體 (NLD) 源的量產干法刻蝕設備。（使用 ULVAC *初開發的磁中性線等離子體 (NLD) 配備低電壓、低電子溫度和高密度等離子體的干法蝕刻設備。）
特征
- 通過在無塵室工作，可擴展至 2 個房間（NLD、磁場 ICP、CCP 和灰化室）。
- NLD是一種可以控制空間和時間的等離子體，所以干洗很容易。
- 實現輕松的腔室維護。
- 我們提供從掩模蝕刻到石英/玻璃蝕刻的工藝解決方案。
- 由半導體技術研究院提供的完整工藝支持體系。
采用
- 光學器件（衍射柵、調制器、光波導、光開關等）、凹凸微透鏡。
- 流體路徑創建 (μ-TAS) 和光子晶體。
