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產品名稱：日本ULVAC愛發科蝕刻裝置重慶販賣
產品型號：NE-7800H
產品廠商：ULVAC愛發科
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簡單介紹：

蝕刻裝置高密度等離子干法蝕刻設備 ULHITE TM NE-7800H

詳情介紹：

蝕刻裝置

高密度等離子
干法蝕刻設備ULHITE ^TM NE-7800H

高密度等離子干蝕刻設備 ULHITE ^TM NE-7800H 是一種多室型低壓、高密度，支持蝕刻 FeRAM 中使用的難蝕刻材料（鐵電體、貴金屬、磁性薄膜等）、MRAM、ReRAM、PCRAM等。是等離子刻蝕設備。

特征

磁場ICP（ISM）法-低壓高密度等離子體處理非揮發性材料的專用機
我們提供從常溫到高溫（400oC）的蝕刻解決方案，層壓薄膜的批量蝕刻和硬掩模的去除。
通過從腔室到排氣管線和 DRP 的均勻加熱來進行倉庫測量。
在抑制維護清潔成本和顆粒產生的結構和材料以及加熱機制等非揮發性材料的蝕刻方面具有豐富經驗的量產設備。
實現長期重現性和穩定性。

采用

FeRAM、MRAM、ReRAM、CBRAM、PcRAM等

規格

物品	規格
設備配置	磁帶室/自動裝載機
	運輸室
	蝕刻室
	預熱室（可選）
	前后處理室（選配）
可加工板尺寸	6.8 英寸
膜式	鐵電/高介電材料、磁性材料、電極材料等
面內均勻度	± 5% 或更少
等離子源	ISM（磁場 ICP）
基板電極溫度	~ 400oC ± 5oC
沉積措施	法拉第屏蔽機構/頂板加熱機構/保護板加熱機構等
工藝配方編輯方法	多步法