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光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。

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產(chǎn)品名稱(chēng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科離子注入機(jī)重慶內(nèi)藤販賣(mài)
產(chǎn)品型號(hào)：IMX-3500
產(chǎn)品廠(chǎng)商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：

離子注入機(jī) 用于研發(fā)的中電流離子注入機(jī) IMX-3500

詳情介紹：

離子注入機(jī)

用于研發(fā)的中電流離子注入機(jī)IMX-3500

中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款*大能量為200 kV、晶圓尺寸可達(dá)8英寸的離子注入機(jī)，是高校研發(fā)的理想選擇。

特征

它的*大晶圓尺寸為 8 英寸，并配備了與非晶基板兼容的壓板。
除了氣體源，B、P、As離子都可以作為離子源，也可以使用易于**處理的固體蒸發(fā)源。
高壓端子部分采用與量產(chǎn)設(shè)備相同的配置，確保高可靠性。

規(guī)格

活力	30-200keV（可選3-200keV兼容）
*大束流	11B + 400μA (200keV) 31P + 600μA (200keV)
*小束流	150nA
離子種類(lèi)	B、P、As、Si、Ge、Sb、In 等