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                            產品詳情
                        
    
                        
    
                            
    
                                
                                
                                
                                
                            
    
                            
    
                                
                                
                                
                            
    
                            
    
    
    
    
    
        
    
    
    
            
    

                
    
                    
                    
      
                          
    • 產品名稱：日本HUGLE藤宮西南片區重慶代理銷售
      • 
                          
    • 產品型號：EUV POD全自動清洗系統SR-EUV（REN）
      • 
                          
    • 產品廠商：HUGLE藤宮
      • 
                          
    • 產品價格：0
      • 
                          
    • 折扣價格：0
      • 
                          
    • 產品文檔：
                          
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            簡單介紹：
        
    
        
    
            新的曝光技術EUV曝光中使用的EUV POD全自動清洗設備。
內 POD 和外 POD 被拆卸/重新組裝，每個 POD 在其自己的專用 CH 中清潔/干燥。
完全無人操作也是可能的。
作為半導體器件容器清洗設備制造商，30年來積累了清洗/干燥技術，實現了納米級顆粒去除。
銷售中心-重慶內藤
        
    
    
    

    
    
        
    
            詳情介紹：
        
    
        
    
            
    
	產品概述

    

    
	
      
		
    • 
			小尺寸設計
		
      • 
		
    • 
			**清洗技術的超精密清洗
		
      • 
		
    • 
			高效干燥方法實現完全干燥
		
      • 
		
    • 
			通過全自動 POD 開閉防止交叉污染
		
      • 
		
    • 
			與 RSP200 兼容
		
      • 
		
    • 
			內置機械手自清潔系統
		
      • 
		
    • 
			單獨的專用腔室處理
		
      • 
	
    

    
 

    
	規范

    

    
	
    
		設備主體：1230（寬）x 2900（深）x 2300（高）毫米（不包括突起）
	
    

    
        
    
    
    

    
 
    
    

    

                            

                            
    
    
    
    
    
        
    

  
    


          
    
              
    
                  
              
    
          
    
          
    
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    渝公網安備 50019002501360號
    
		 	
    

    
        
    
    
    
 


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