| VP9000（標準機） | VP9000（高速機） | |
| 檢查方式 | 相位偏移法 | |
|---|---|---|
| 基板尺寸 |
(M)50mm×50mm～330mm×250mm (L)50mm×50mm～510mm×460mm |
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| 基板厚度 | 0.3～5.0mm | |
| 投影方向 | 雙投影機 | 單投影機 |
| 檢查分辨率 |
[ 標準 / 高分辨率 / 超高分辨率 ] ①[25μm/12.5μm/8.5μm]、②[20μm/10μm/5μm]、③[15μm/7.5μm/5μm] |
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速度 （mm2/sec） |
① ② ③ 標：8,900 5,700 3,200 高：5,600 3,500 1,900 超：1,900 1,200 650 |
① ?、凇 、?br style="box-sizing:content-box;word-break:normal;">
標：9,400 6,000 3,300 高：6,000 3,700 2,000 超：2,000 1,300 700 |
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精度 體積 (3σ）*1 |
2％以內 | 3％以內 |
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板彎 追蹤范圍 |
±5mm | |
| 外形 |
(M)724×970×1,500mm (L)904×1,180×1,600mm |
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| 電源 | 單相 AC200～230V 50/60Hz MAX 1KVA | |
| 壓縮空氣 | 不要 | |
| 重量 |
(M) 約460kg (L) 約550kg |
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| ＵＰＳ | UPS:不間斷電源 標準配置（僅用于PC） | |
| 環境對應 | RoHS | |
| 選項 |
數據站VPDS（*多可連接6臺）、電源電壓變更、紅膠檢查、 ePM軟件、進板導軌、出板導軌、1D/2D條碼讀取功能、CE対底（僅用于L機）、 鍵盤桌、貼片數據、超細微分辨率對應、前后工序機聯合功能 |
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*使用本公司樣品基板
