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    產品詳情
    • 產品名稱:激光平面瞬時加熱裝置 ExLASER?X-Laser SAKAGUCHI加熱器?

    • 產品型號:X-Laser
    • 產品廠商:SAKAGUCHI坂口電熱
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    簡單介紹:
    激光平面瞬時加熱裝置 ExLASER?X-Laser SAKAGUCHI加熱器? TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生 激光平面瞬時加熱裝置 ExLASER?X-Laser SAKAGUCHI加熱器?
    詳情介紹:


    ExLASER®系列工作測試可用!激光平面瞬時加熱裝置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加熱器
    ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
    特點
    可以實現超高的溫升和降溫
    2英寸襯底均勻加熱1次
    直接加熱到被加熱物體是可能的
    溫度控制適合于過程
    不加熱大氣的節能

    應用示例激光平面瞬時加熱裝置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加熱器
    MBE設備的基材加熱
    晶圓退火(SiC,GaAS等)
    多層器件的表面退火是可能的(與小型化器件兼容)
    體驗的例子
    日本原子能研究開發機構
    激光輸出:100W 
    主體尺寸:H251×W200×D253(mm)
    激光加熱實驗
    EXL-CT-010DS55用于激光加熱放置在真空室中的樣品。從樣品的背面(與激光照射側相反的一側)測量溫度分布。
    1.藍寶石基板(φ2英寸)---適用于透明基板


    溫度分布

    藍寶石襯底的溫度分布
    (激光輸出:1000 W)

    快速升溫/降溫

    藍寶石襯底快速升降溫度(平均襯底溫度)
    (激光輸出:1000 W)



    2.溫度斜坡---使用組合光學

    溫度分布

    金屬板溫度分布
    (激光輸出:86 W聚光燈)

    溫度梯度圖

    金屬板的溫度梯度

    標準規范激光平面瞬時加熱裝置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加熱器

    型號:EXL-CT-010-DS55
    激光照射法 直接類型 身材大小 H 625mm×W 700mm×D 320mm
    激光輸出 *大1千瓦 附件 專用冷水機組
    激光波長 808nm 額定 身體:1P 200 V 20 A 
    冷水機:1 P 200 V 15 A
    激光形狀 一個正方形
    光學系統(均勻性) 均質機(±5%) 備注 JST原創造型
    開發產品(2005年度)
    加熱區 □55毫米
    工作距離 400毫米 -
    激光平面瞬時加熱裝置 ExLASER®X-Laser SAKAGUCHI加熱器



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