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擴(kuò)展ISO Class 1,內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號(hào),與10 nm型號(hào)4214兼容
即使在高純度N 2環(huán)境下,4214型靜電消除儀也支持“擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10nm”的高清潔度,并實(shí)現(xiàn)出色的離子平衡。
(詳情請(qǐng)咨詢TEL:18375760285QQ:1280713150 白先生)
http://www.tamasaki.cn/
關(guān)于擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10納米
特點(diǎn)
規(guī)范
輸入電壓
24 V DC +/- 5%6 W(典型值)。
離子平衡
<+/- 25 V 150 mm距離40 LPM無管道連接
靜電消除時(shí)間
<10秒150毫米距離40 LPM無配管連接
+/- 1 kv→+/- 100 v取決于充電板顯示器
離子生成方法
電暈放電型高頻交流系統(tǒng)
清潔程度
ISO等級(jí)1,0.1微米“擴(kuò)展ISO等級(jí)10nm”*
電極
單晶硅可交換
相應(yīng)的吹掃氣體
N 2> 99.998%
流量
40 LPM(36.5 Kpa)至90 LPM(171 kPa)
*大吹掃壓力
207 Kpa(= 100 LPM流量)
*高氣體溫度
60攝氏度
N 2吹掃連接
世偉洛克3/8“外徑管道
電離N 2連接
世偉洛克1/2“外徑管道連接,帶1 / 4NPT內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
工作溫度范圍
15至60攝氏度
信號(hào)輸出
打開/關(guān)閉觸點(diǎn)時(shí)的報(bào)警和離子減少輸出
維
長度152.4毫米x寬度72.4毫米x深度32毫米不包含
管道部分
重量
640克
外觀
不銹鋼
安裝方法
背面M5螺絲螺絲長度小于10毫米
?ION Systems專門定義了清潔度的定義,以便應(yīng)對(duì)精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個(gè)粒徑10nm的