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探測機:UF3000EX
高精度,高產量
300mm旗艦探測機
通過高速晶圓搬運和專用驅動單元實現的高速安靜的XY工作臺的協同效應實現了高產量 此外,Z軸達到了世界*高水平的負載能力和高精度。
特色功能
通過采用配備有彩色相機的高倍光學系統(tǒng)的大型顯示器作為標準并繼承了傳統(tǒng)的可操作性,進一步提高了可操作性。
通過與各種選項結合,它可以靈活地支持任何測試環(huán)境。
選件