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加熱用鹵素燈泡
外延生長設(shè)備用鹵素燈泡
在半導體制造過程中氧化硅晶片表面時用作加熱的鹵素燈泡。
其他用途
- RTP設(shè)備用鹵素燈泡
- CVD設(shè)備用鹵素燈泡等
與電熱絲等加熱器相比，它具有啟動快、響應(yīng)好、清潔、熱能特性穩(wěn)定等特點，是一種高效光源。
光學鏡面濾鏡
它可以控制波長
用于半導體制造過程中印刷電路圖案時使用的曝光設(shè)備燈的波長控制。
光學鏡是只反射特定波長的光而透射（或吸收）其他光的鏡子。
與鏡子相反，濾光器是一種僅透射特定波長的光并反射（或吸收）其他光的濾光器。
根據(jù)應(yīng)用，有各種變化，例如冷鏡、帶通濾波器和分色鏡。
- 細節(jié)：濾光鏡
步進電機用超高壓汞燈
一種長壽命、高穩(wěn)定性的超高壓汞燈，具有很強的紫外線強度。
作為半導體制造過程中印刷電路圖案時曝光設(shè)備的燈，滿足高品質(zhì)的需求。
在半導體制造過程中，需要*大限度地進行超精細加工，對曝光設(shè)備的燈管制定了嚴格的標準。用于步進機的超高壓汞燈在晶圓表面印刷電路時使用，因為它們可以長時間保持高照度，光束效率穩(wěn)定，并且環(huán)保性**。
UV清洗/重整設(shè)備
使用短波紫外線的清洗/重整裝置。
在半導體制造過程中，用于在處理硅片之前去除有機物質(zhì)。
具有干式工藝、無真空系統(tǒng)、無損傷等特點，使用紫外線燈和照射裝置的高功率照射裝置可實現(xiàn)傳統(tǒng)溶劑和超聲波清洗難以實現(xiàn)的高質(zhì)量、高速處理.
紫外線清洗
通過紫外線的作用產(chǎn)生的臭氧中分離出的活性氧的作用，將有機污染物分解、轉(zhuǎn)化為揮發(fā)性物質(zhì)并去除。
紫外線改性
被照射的有機物被紫外線照射使表層的化學鍵斷裂，紫外線產(chǎn)生的從臭氧中分離出來的活性氧與斷裂的表層分子結(jié)合，形成高度親水的官能團. 轉(zhuǎn)換為。
用于清洗和重整的低壓汞燈
它發(fā)出 185 nm 和 254 nm 的紫外線。同時，它是一種將空氣中的氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧，去除（凈化）有機物，修飾有機物表面的燈。
- 詳細信息：清洗/重整系統(tǒng)
紫外線水處理系統(tǒng)
紫外線**水處理系統(tǒng)
極速**超純水處理能力大
UV氧化水處理系統(tǒng)
大功率低壓汞燈實現(xiàn)高效氧化分解
紫外線水處理系統(tǒng)用于對半導體制造工藝必不可少的超純水進行**，以及去除廢水回收和再利用系統(tǒng)中的有機物質(zhì)。
超純水的生產(chǎn)成本高昂，且經(jīng)常大量使用，因此通常采用使用后回收、去除雜質(zhì)、然后再處理的系統(tǒng)。UV氧化處理系統(tǒng)通過使用低壓汞燈有效氧化分解超純水生產(chǎn)系統(tǒng)中難以處理的低分子有機物雜質(zhì)和各種工業(yè)廢水中的有機物，實現(xiàn)了高速處理。
- 詳情：**/**系統(tǒng)【水的**】
- 詳細信息：凈水系統(tǒng)
