
主營產(chǎn)品:
光學儀器、光學材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設備、氣動工具、電動工具、化工設備、化工輔料、點膠設備、小型設備、儲存設備、物流設備、工業(yè)安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設備等。
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
5635 型 Aerobar MP 電離器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為需要 100 nm 或更小顆粒控制的靜電消除應用而開發(fā),例如先進的半導體制造工藝。
詳情介紹:
產(chǎn)品信息
5635 型 Aerobar MP 電離器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為需要 100 nm 或更小顆粒控制的靜電消除應用而開發(fā),例如先進的半導體制造工藝。
特征
■世界
采用
率*高的單晶硅電極,具有超低粒子特性,可避免因電極材料引起的金屬污染風險靜電消除性能100 mm 的距離和離子平衡,在桿長上幾乎沒有偏差 ■
智能控制電路自動管理離子生成狀態(tài)和離子平衡
■可以用 1/4 圈拆卸更換 電極有助于減少維護工時。 MP方法的特點是電位擺動非常小,簡化了設置。此外,電位擺動小,有效地保持了控制標準內(nèi)
的長期離子平衡
。根據(jù)半導體前端的EFEM設置棒的長度
■緊湊型設計,內(nèi)置 24V 直流驅(qū)動控制器
■全球范圍內(nèi)的**支持網(wǎng)絡
規(guī)格
5635 型 AeroBar MP
輸入電壓 | 24V 直流 +/-10% |
---|---|
輸出電壓 | 高達約 13.5kv pp 可調(diào) |
安裝距離 | 100mm 至 1000mm(無空氣吹掃) |
離子產(chǎn)生方式 |
電暈放電方式 MP(脈沖調(diào)制)方式 調(diào)制頻率 1 至 33 Hz |
離子平衡 |
桿內(nèi)自動平衡 <+/-10V 桿正下方 位置差異 <+/-10v (600 毫米距離) |
電極 | 單晶硅電極可更換 |
凈化氣體 | 清潔干燥空氣或 N2 |
*大吹掃壓力 | 310Kpa |
臭氧量 | <0.05ppm(24小時綜合值) |
信號輸出 | 報警IO集電極開路輸出 |
尺寸 |
高78mm x 深34mm x 長 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下 |
外部的 | ABS樹脂 |