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產品名稱：日本SIMCO思美高除靜電電離器內藤naitokikai售
產品型號：擴展 ISO 1 級、10 nm 兼容棒型離子發生器 AeroBarMP 型號 5635
產品廠商：日本SIMCO
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簡單介紹：

5635 型 Aerobar MP 電離器是一種超低顆粒兼容產品，專為需要 100 nm 或更小顆粒控制的靜電消除應用而開發，例如先進的半導體制造工藝。

詳情介紹：

產品信息

5635 型 Aerobar MP 電離器是一種超低顆粒兼容產品，專為需要 100 nm 或更小顆粒控制的靜電消除應用而開發，例如先進的半導體制造工藝。

特征

■世界
采用
率*高的單晶硅電極，具有超低粒子特性，可避免因電極材料引起的金屬污染風險靜電消除性能100 mm 的距離和離子平衡，在桿長上幾乎沒有偏差 ■
智能控制電路自動管理離子生成狀態和離子平衡
■可以用 1/4 圈拆卸更換電極有助于減少維護工時。 MP方法的特點是電位擺幅很小，簡化了設置。另外，電位擺幅很小，有效地保持了控制標準內
的長期離子平衡
。根據半導體前端的EFEM設置棒的長度
■緊湊型設計，內置 24V 直流驅動控制器
■全球范圍內的**支持網絡

規格

5635 型 AeroBar MP

輸入電壓	24V 直流 +/-10%
輸出電壓	高達約 13.5kv pp 可調
安裝距離	100mm 至 1000mm（無空氣吹掃）
離子產生方式	電暈放電方式 MP（脈沖調制）方式調制頻率 1 至 33 Hz
離子平衡	桿內自動平衡 <+/-10V 桿正下方位置差異 <+/-10v （600 毫米距離）
電極	單晶硅電極可更換
凈化氣體	清潔干燥空氣或 N2
*大吹掃壓力	310Kpa
臭氧量	<0.05ppm（24小時綜合值）
信號輸出	報警IO集電極開路輸出
尺寸	高78mm x 深34mm x 長 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下
外部的	ABS樹脂

什么是擴展 ISO Class1,10nm？
擴展 ISO 1 級，10nm 這是 ION Systems 為支持精細顆粒管理而**定義的清潔度定義。ISO14644-1 定義*小粒徑為 100nm。Extended ISO Class 1,10nm 使用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數計算公式，對于 10nm 或更大的粒徑，允許的顆粒數為 1200pc/m3（34 pc/ft3）。

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渝公網安備 50019002501360號

產品名稱：日本SIMCO思美高除靜電電離器內藤naitokikai售

產品信息

5635 型 Aerobar MP 電離器是一種超低顆粒兼容產品，專為需要 100 nm 或更小顆粒控制的靜電消除應用而開發，例如先進的半導體制造工藝。

特征

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