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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:日本SIMCO思美高棒型負(fù)離子發(fā)生器

    • 產(chǎn)品型號(hào):5225 型
    • 產(chǎn)品廠商:日本SIMCO
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    5225 型 Aerobar 負(fù)離子發(fā)生器是一種棒型負(fù)離子發(fā)生器,專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體等超潔凈工藝設(shè)備。
    詳情介紹:

    特征

    單晶硅電極,在世界范圍內(nèi)擁有****的
    采用記錄,由于其超低的顆粒特性和電極材料,避免了金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)
    。
    通過安裝 5200-SR 外部靜電消除目標(biāo)附近的傳感器(選項(xiàng)),可以反饋控制靜電消除目標(biāo)附近的離子平衡,而不是電離棒本身(連接 5200-SR 如果未連接,電離棒內(nèi)置的傳感器會(huì)自動(dòng)調(diào)整離子平衡.)
    根據(jù)半導(dǎo)體前道工序EFEM設(shè)定棒的長度
    離子發(fā)生輸出、離子發(fā)生時(shí)間、警報(bào)閾值等 參數(shù)范圍廣 可以用 設(shè)定,可以靈活應(yīng)對(duì)適用于遠(yuǎn)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
    僅通過數(shù)字輸入?yún)?shù)即可獲得高再現(xiàn)性,并可在短時(shí)間內(nèi)完成設(shè)置
    除了簡單的報(bào)警 IO,使用提供的 DLL 可以進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控免費(fèi),有助于掌握過程設(shè)備內(nèi)部的狀態(tài)。

    規(guī)格

    型號(hào) 5225 AeroBar

    輸入電壓 24V AC,50/60Hz,1W Typ. 由 IM6T 提供。
    交流形式 RS485(IM6T 和 5225 之間)
    輸出電壓 0kv 至大約 +/-20kv
    輸出形式 脈沖直流模式、穩(wěn)態(tài)直流模式(可選)
    輸出電流 內(nèi)置<15micro A電流和電壓限制電路
    連接接頭 RJ11,4極4芯
    離子產(chǎn)生時(shí)間 *小0.1sec,*大10sec 可分別設(shè)置正負(fù)
    電極 單晶硅電極可更換
    臭氧產(chǎn)生量 <0.005ppm(24小時(shí)綜合測(cè)量)
    相應(yīng)的清潔度 ISO Class1,0.1 微米
    尺寸 高 53mm x 深 31mm x 長 569mm (-22), 721mm(-28),

    907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64),

    1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84)
    重量 -22:每加長1.02kg 0.17kg/30cm
    外部的 ABS樹脂

    接口模塊型號(hào) 5200-IM6T

    輸入電壓 24V 直流 +/-5%, 1.5A
    交流形式 以太網(wǎng)、RS232C
    報(bào)警輸出 繼電器觸點(diǎn)(** V4.0 及更高版本)
    尺寸 高 74mm x 深 71mm x 長 315mm
    重量 2公斤
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