
主營產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
5225 型 Aerobar 負(fù)離子發(fā)生器是一種棒型負(fù)離子發(fā)生器,專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體等超潔凈工藝設(shè)備。
詳情介紹:
特征
■單晶硅電極,在世界范圍內(nèi)擁有****的
采用記錄,由于其超低的顆粒特性和電極材料,避免了金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)
。
通過安裝 5200-SR 外部靜電消除目標(biāo)附近的傳感器(選項(xiàng)),可以反饋控制靜電消除目標(biāo)附近的離子平衡,而不是電離棒本身(連接 5200-SR 如果未連接,電離棒內(nèi)置的傳感器會(huì)自動(dòng)調(diào)整離子平衡.)
■根據(jù)半導(dǎo)體前道工序EFEM設(shè)定棒的長度
■離子發(fā)生輸出、離子發(fā)生時(shí)間、警報(bào)閾值等 參數(shù)范圍廣 可以用 設(shè)定,可以靈活應(yīng)對(duì)適用于遠(yuǎn)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
■僅通過數(shù)字輸入?yún)?shù)即可獲得高再現(xiàn)性,并可在短時(shí)間內(nèi)完成設(shè)置
■除了簡單的報(bào)警 IO,使用提供的 DLL 可以進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控免費(fèi),有助于掌握過程設(shè)備內(nèi)部的狀態(tài)。
規(guī)格
型號(hào) 5225 AeroBar
輸入電壓 | 24V AC,50/60Hz,1W Typ. 由 IM6T 提供。 |
---|---|
交流形式 | RS485(IM6T 和 5225 之間) |
輸出電壓 | 0kv 至大約 +/-20kv |
輸出形式 | 脈沖直流模式、穩(wěn)態(tài)直流模式(可選) |
輸出電流 | 內(nèi)置<15micro A電流和電壓限制電路 |
連接接頭 | RJ11,4極4芯 |
離子產(chǎn)生時(shí)間 | *小0.1sec,*大10sec 可分別設(shè)置正負(fù) |
電極 | 單晶硅電極可更換 |
臭氧產(chǎn)生量 | <0.005ppm(24小時(shí)綜合測(cè)量) |
相應(yīng)的清潔度 | ISO Class1,0.1 微米 |
尺寸 |
高 53mm x 深 31mm x 長 569mm (-22), 721mm(-28), 907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64), 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84) |
重量 | -22:每加長1.02kg 0.17kg/30cm |
外部的 | ABS樹脂 |
接口模塊型號(hào) 5200-IM6T
輸入電壓 | 24V 直流 +/-5%, 1.5A |
---|---|
交流形式 | 以太網(wǎng)、RS232C |
報(bào)警輸出 | 繼電器觸點(diǎn)(** V4.0 及更高版本) |
尺寸 | 高 74mm x 深 71mm x 長 315mm |
重量 | 2公斤 |
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