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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱(chēng):日本SIMCO思美高5635型Aerobar MP電離器重慶

    • 產(chǎn)品型號(hào):
    • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:日本SIMCO
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    5635 型 Aerobar MP 電離器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,專(zhuān)為需要 100 nm 或更小顆粒控制的靜電消除應(yīng)用而開(kāi)發(fā),例如先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。
    詳情介紹:

    特征

    ■世界
    采用
    *高的單晶硅電極,具有超低粒子特性,可避免因電極材料引起的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)靜電消除性能100mm的距離和離子平衡,在桿長(zhǎng)上幾乎沒(méi)有偏差 ■
    智能控制電路始終自動(dòng)管理離子生成狀態(tài)和離子平衡
    可以用 1/4 圈拆卸更換 電極有助于減少維護(hù)人員-小時(shí)。MP
    方法具有非常小的電位擺動(dòng),簡(jiǎn)化了設(shè)置。此外,較小的電位擺動(dòng)有效地保持控制標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的長(zhǎng)期離子平衡
    棒的長(zhǎng)度根據(jù) EFEM 設(shè)置半導(dǎo)體前端工藝
    緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置 24V 直流驅(qū)動(dòng)控制器
    遍布全球的**支持網(wǎng)絡(luò)

    規(guī)格

    5635 型 AeroBar MP

    輸入電壓 24V 直流 +/-10%
    輸出電壓 高達(dá)約 13.5kv pp 可調(diào)
    安裝距離 100mm 至 1000mm(無(wú)空氣吹掃)
    離子產(chǎn)生方式 電暈放電方式
    MP(脈沖調(diào)制)方式 調(diào)制頻率 1 至 33 Hz
    離子平衡 桿內(nèi)自動(dòng)平衡
    <+/-10V 桿正下方 位置差異 <+/-10v
    (600 毫米距離)
    電極 單晶硅電極可更換
    凈化氣體 清潔干燥空氣或 N2
    *大吹掃壓力 310Kpa
    臭氧量 <0.05ppm(24小時(shí)綜合值)
    信號(hào)輸出 報(bào)警IO集電極開(kāi)路輸出
    尺寸 高78mm x 深34mm x 長(zhǎng)
    450/600
    /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下
    外部的 ABS樹(shù)脂
    什么是擴(kuò)展 ISO Class1,10nm?
    擴(kuò)展 ISO 1 級(jí),10nm 這是 ION Systems 為支持精細(xì)顆粒管理而**定義的清潔度定義。ISO14644-1 定義*小粒徑為 100nm。Extended ISO Class 1,10nm 使用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數(shù)計(jì)算公式,對(duì)于 10nm 或更大的粒徑,允許的顆粒數(shù)為 1200pc/m3(34 pc/ft3)。
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