
主營(yíng)產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
5635 型 Aerobar MP 電離器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,專(zhuān)為需要 100 nm 或更小顆粒控制的靜電消除應(yīng)用而開(kāi)發(fā),例如先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。
詳情介紹:
特征
■世界
采用
率*高的單晶硅電極,具有超低粒子特性,可避免因電極材料引起的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)靜電消除性能100mm的距離和離子平衡,在桿長(zhǎng)上幾乎沒(méi)有偏差 ■
智能控制電路始終自動(dòng)管理離子生成狀態(tài)和離子平衡
■可以用 1/4 圈拆卸更換 電極有助于減少維護(hù)人員-小時(shí)。MP
方法具有非常小的電位擺動(dòng),簡(jiǎn)化了設(shè)置。此外,較小的電位擺動(dòng)有效地保持控制標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的長(zhǎng)期離子平衡
。棒的長(zhǎng)度根據(jù) EFEM 設(shè)置半導(dǎo)體前端工藝
■緊湊型設(shè)計(jì),內(nèi)置 24V 直流驅(qū)動(dòng)控制器
■遍布全球的**支持網(wǎng)絡(luò)
規(guī)格
5635 型 AeroBar MP
輸入電壓 | 24V 直流 +/-10% |
---|---|
輸出電壓 | 高達(dá)約 13.5kv pp 可調(diào) |
安裝距離 | 100mm 至 1000mm(無(wú)空氣吹掃) |
離子產(chǎn)生方式 |
電暈放電方式 MP(脈沖調(diào)制)方式 調(diào)制頻率 1 至 33 Hz |
離子平衡 |
桿內(nèi)自動(dòng)平衡 <+/-10V 桿正下方 位置差異 <+/-10v (600 毫米距離) |
電極 | 單晶硅電極可更換 |
凈化氣體 | 清潔干燥空氣或 N2 |
*大吹掃壓力 | 310Kpa |
臭氧量 | <0.05ppm(24小時(shí)綜合值) |
信號(hào)輸出 | 報(bào)警IO集電極開(kāi)路輸出 |
尺寸 |
高78mm x 深34mm x 長(zhǎng) 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下 |
外部的 | ABS樹(shù)脂 |
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