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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:日本SIMCO思美高除靜電離子棒5635 naitokikai有售

    • 產(chǎn)品型號:
    • 產(chǎn)品廠商:日本SIMCO
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為需要 100 nm 或更小的細顆粒控制的靜電消除應(yīng)用而開發(fā),例如在先進的半導(dǎo)體制造工藝中。
    詳情介紹:

    特征

    ■單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁有****的
    應(yīng)用記錄,具有超低顆粒特性,避免了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險靜電消除性能
    低電位擺幅特性,即使在高電壓下也可使用距離為 100 mm,離子平衡在桿長度上幾乎沒有偏差 ■
    智能控制電路始終自動管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
    可通過 1/4 圈拆卸的更換 電極有助于減少維護人員-小時。MP
    方法具有非常小的電位擺幅,這簡化了設(shè)置。此外,小的電位擺幅有效地起到了將離子平衡長期保持在控制標(biāo)準內(nèi)的作用
    桿的長度根據(jù)EFEM設(shè)置半導(dǎo)體前端工藝
    緊湊型設(shè)計,內(nèi)置 24V DC 驅(qū)動控制器
    全球范圍內(nèi)的**支持網(wǎng)絡(luò)

    規(guī)格

    型號 5635 AeroBar MP

    輸入電壓 24V 直流+/-10%
    輸出電壓 高達約 13.5kv pp 可調(diào)
    安裝距離 100mm 至 1000mm(無空氣吹掃)
    離子發(fā)生方式 電暈放電方式
    MP(脈沖調(diào)制)方式 調(diào)制頻率 1 ~ 33 Hz
    離子平衡 自動平衡
    條內(nèi) <+/-10V 條正下方 位置差 <+/-10v
    (600 mm 距離)
    電極 單晶硅電極可更換
    吹掃氣體 清潔干燥空氣或N2
    *大吹掃壓力 310Kpa
    臭氧量 <0.05ppm(24小時積分值)
    信號輸出 報警IO集電極開路輸出
    尺寸 高78mm x 深34mm x 長度
    450/600
    /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下
    外部的 ABS樹脂
    什么是擴展 ISO Class1,10nm?
    擴展 ISO 1 級,10nm 這是 ION Systems 獨特定義的清潔度定義,旨在支持細顆粒管理。ISO14644-1 規(guī)定*小粒徑為 100nm。擴展 ISO Class 1,10nm 采用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數(shù)計算公式,對于粒徑為 10nm 或更大的顆粒,允許顆粒數(shù)為 1200pc/m3 (34 pc/ft3)。
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