
主營產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設(shè)備、氣動工具、電動工具、化工設(shè)備、化工輔料、點膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品,專為需要 100 nm 或更小的細顆粒控制的靜電消除應(yīng)用而開發(fā),例如在先進的半導(dǎo)體制造工藝中。
詳情介紹:
特征
■單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁有****的
應(yīng)用記錄,具有超低顆粒特性,避免了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險靜電消除性能
■低電位擺幅特性,即使在高電壓下也可使用距離為 100 mm,離子平衡在桿長度上幾乎沒有偏差 ■
智能控制電路始終自動管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
■可通過 1/4 圈拆卸的更換 電極有助于減少維護人員-小時。MP
方法具有非常小的電位擺幅,這簡化了設(shè)置。此外,小的電位擺幅有效地起到了將離子平衡長期保持在控制標(biāo)準內(nèi)的作用
。桿的長度根據(jù)EFEM設(shè)置半導(dǎo)體前端工藝
■緊湊型設(shè)計,內(nèi)置 24V DC 驅(qū)動控制器
■全球范圍內(nèi)的**支持網(wǎng)絡(luò)
規(guī)格
型號 5635 AeroBar MP
輸入電壓 | 24V 直流+/-10% |
---|---|
輸出電壓 | 高達約 13.5kv pp 可調(diào) |
安裝距離 | 100mm 至 1000mm(無空氣吹掃) |
離子發(fā)生方式 |
電暈放電方式 MP(脈沖調(diào)制)方式 調(diào)制頻率 1 ~ 33 Hz |
離子平衡 |
自動平衡 條內(nèi) <+/-10V 條正下方 位置差 <+/-10v (600 mm 距離) |
電極 | 單晶硅電極可更換 |
吹掃氣體 | 清潔干燥空氣或N2 |
*大吹掃壓力 | 310Kpa |
臭氧量 | <0.05ppm(24小時積分值) |
信號輸出 | 報警IO集電極開路輸出 |
尺寸 |
高78mm x 深34mm x 長度 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm以下 |
外部的 | ABS樹脂 |