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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備(重慶內(nèi)藤)

    • 產(chǎn)品型號:SV-200
    • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    SV-4540、6040、9045是輪播型,具有大量基材,因此非常適合中小型或小批量高混合生產(chǎn)。 SV-200圓盤壓模鎳沉積專用設(shè)備,超緊湊,全自動,高產(chǎn)量 ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備(重慶內(nèi)藤) ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備(重慶內(nèi)藤) ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設(shè)備(重慶內(nèi)藤)
    詳情介紹:

    特征

    • SV-4540、6040、9045是輪播型,具有大量基材,因此非常適合中小型或小批量高混合生產(chǎn)。
    • SV-200圓盤壓模鎳沉積專用設(shè)備,超緊湊,全自動,高產(chǎn)量

    采用

    • 在各種基板上形成電極膜,絕緣膜和介電膜

    規(guī)范

    SV-200 SV-4540 SV-6040 SV-9045
    標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng) 8英寸低溫泵 12英寸低溫泵 12英寸低溫泵 16英寸低溫泵
    到達(dá)壓力 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa
    倉庫方向 側(cè) 側(cè) 側(cè) 側(cè)
    成膜區(qū)域均勻的
    靜態(tài)
    旋轉(zhuǎn)
    Φ200毫米±5% L300mm±10% L300mm±10% L400毫米±10%
    基板加熱 沒有 250℃ 250℃ 250℃
    控制系統(tǒng) 自動 自動 自動 自動
    選件
    SV-200除外
    渦輪泵 非水冷電極
    油擴散泵 APC機制
    多個同時倉庫 板翻轉(zhuǎn)機制
    下倉庫 反應(yīng)飛濺
    常規(guī)陰極
    鐵磁陰極
    射頻蝕刻清潔(SV-4540)
    偏置機制(SV-4540)

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