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產品名稱：ULVAC愛發科間歇式濺射設備（重慶內藤）
產品型號：SV-6040
產品廠商：ULVAC愛發科
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簡單介紹：

SV-4540、6040、9045是輪播型，具有大量基材，因此非常適合中小型或小批量高混合生產。 SV-200圓盤壓模鎳沉積專用設備，超緊湊，全自動，高產量 ULVAC愛發科間歇式濺射設備（重慶內藤） ULVAC愛發科間歇式濺射設備（重慶內藤） ULVAC愛發科間歇式濺射設備（重慶內藤）

詳情介紹：

特征

SV-4540、6040、9045是輪播型，具有大量基材，因此非常適合中小型或小批量高混合生產。
SV-200圓盤壓模鎳沉積專用設備，超緊湊，全自動，高產量

采用

在各種基板上形成電極膜，絕緣膜和介電膜

規范

	SV-200	SV-4540	SV-6040	SV-9045
標準排氣系統	8英寸低溫泵	12英寸低溫泵	12英寸低溫泵	16英寸低溫泵
到達壓力	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa	6.7e-5Pa
倉庫方向	側	側	側	側
成膜區域均勻的靜態旋轉	Φ200毫米±5％	L300mm±10％	L300mm±10％	L400毫米±10％
基板加熱	沒有	250℃	250℃	250℃
控制系統	自動	自動	自動	自動
選件 SV-200除外	渦輪泵		非水冷電極
	油擴散泵		APC機制
	多個同時倉庫		板翻轉機制
	下倉庫		反應飛濺
	常規陰極
	鐵磁陰極
	射頻蝕刻清潔（SV-4540）
	偏置機制（SV-4540）

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渝公網安備 50019002501360號

產品名稱：ULVAC愛發科間歇式濺射設備（重慶內藤）

特征

采用

規范