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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:日本OTSUKA大塚電子膜厚儀重慶代理

    • 產(chǎn)品型號(hào):OPTM系列
    • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    OPTM 是一種通過(guò)使用顯微鏡光譜測(cè)量微小區(qū)域的特定反射率來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。 各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等鍍膜、多層膜厚度的無(wú)損、非接觸測(cè)量。可以進(jìn)行1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)。 銷售中心-重慶內(nèi)藤
    詳情介紹:

    產(chǎn)品信息

     
    特征
    • 膜厚測(cè)量所需的功能集成在測(cè)量頭中
    • 使用顯微光譜法進(jìn)行高精度的反射率測(cè)量(多層膜厚度、光學(xué)常數(shù))
    • 每點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測(cè)量
    • 實(shí)現(xiàn)顯微鏡下寬測(cè)量波長(zhǎng)范圍(紫外到近紅外)的光學(xué)系統(tǒng)
    • 區(qū)域傳感器保護(hù)機(jī)制
    • 一個(gè)簡(jiǎn)單的分析向?qū)В词故浅醮问褂玫挠脩粢部梢赃M(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
    • 配備可自定義測(cè)量順序的宏功能
    • 也可以分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)(多點(diǎn)分析法)
    • 300mm載物臺(tái)兼容
    • 支持各種自定義

    可以根據(jù)樣品的形狀和位置輕松定制測(cè)量順序。

    可以根據(jù)樣品的形狀和位置輕松定制測(cè)量順序。

    規(guī)格

    規(guī)格
    類型 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
    波長(zhǎng)范圍 230-800 納米 360-1100 納米 900-1600nm
    膜厚范圍*1 1 納米至 35 微米 7 納米至 49 微米 16nm 至 92μm
    樣本量*2 *大200×200×17mm
    光斑直徑 φ5、φ10、φ20、φ40

    *以上規(guī)格適用于自動(dòng)XY載物臺(tái)。

    *1 薄膜厚度范圍換算為SiO2 。

    *2 如需 300 mm 載物臺(tái),請(qǐng)聯(lián)系我們。


     

    類型 自動(dòng)XY載物臺(tái)類型 固定架式 埋頭式
    外形尺寸
    (寬×深×高)
    556×566×618mm 368×468×491mm 210×441×474mm
    90×250×190mm *
    重量 66公斤 38公斤 23 公斤
    4 公斤*
    *大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

    *交流/直流電源單元

     

    圖表

    OPTM(自動(dòng)XY載物臺(tái)型)結(jié)構(gòu)圖
    自動(dòng)XY載物臺(tái)類型

     

    OPTM(埋頭式)結(jié)構(gòu)圖
    埋頭式

    銷售中心-重慶內(nèi)藤


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