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    產品詳情
    • 產品名稱:OTSUKA大塚電子OPTM系列埋頭式內藤代理

    • 產品型號:
    • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
    • 產品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    利用顯微鏡分光膜厚儀OPTM系列的高精度和微小光斑,它提供在線膜厚信息,例如晶圓圖案化后的微小區域測量。 銷售中心-重慶內藤naitokikai
    詳情介紹:

    產品信息

    特征
    • 膜厚測量范圍 1 nm 至 92 μm(SiO 2換算)
    • 薄膜厚度值的高重復性
    • 每點1秒以內的高速測量
    • 圖案可瞄準微小點(*小Φ3μm)
    • 適用于圖案化晶圓的膜厚測繪
    • 可以獲取用于圖案對齊的圖像

     

    設備內置鏡像

    測量數據圖像

     

    測量點周圍的圖像

     

    自適應過程示例

    CMP工藝

    蝕刻工藝

    沉積過程

    這樣的

    規格

    OPTM頭規格表



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    渝公網安備 50019002501360號

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